HOME
CONTACT US
CONTACT US
CONTACT US
ศูนย์เทคโนโลยีไมโครอิเล็กทรอนิกส์ |
||
| ที่ตั้ง | 51/4 หมู่ 1 ตำบลวังตะเคียน อำเภอเมือง จังหวัดฉะเชิงเทรา 24000 |
|
| โทรศัพท์ | 0 3885 7100-9 | |
| โทรสาร | 0 3885 7175 | |
| อีเมล | info-tmec@nectec.or.th | |
| เว็บไซต์ | http://tmec.nectec.or.th | |
OUR RESEARCH
High-dielectric constant AlON prepared by RF gas-timing sputtering for high capacitance density
Post on 2009-06-14
This paper presents the method to prepare and characterize high-dielectric constant aluminum oxynitride (AlON) formed by RF gas-timing sputtering. AlON layers of 725nm have been pr...
