HOME
CONTACT US

CONTACT US
ศูนย์เทคโนโลยีไมโครอิเล็กทรอนิกส์ |
||
ที่ตั้ง | 51/4 หมู่ 1 ตำบลวังตะเคียน อำเภอเมือง จังหวัดฉะเชิงเทรา 24000 |
|
โทรศัพท์ | 0 3885 7100-9 | |
โทรสาร | 0 3885 7175 | |
อีเมล | info-tmec@nectec.or.th | |
เว็บไซต์ | http://tmec.nectec.or.th |
OUR RESEARCH

High-dielectric constant AlON prepared by RF gas-timing sputtering for high capacitance density
Post on 2009-06-14
This paper presents the method to prepare and characterize high-dielectric constant aluminum oxynitride (AlON) formed by RF gas-timing sputtering. AlON layers of 725nm have been pr...



