HOME
CONTACT US
CONTACT US
CONTACT US
ศูนย์เทคโนโลยีไมโครอิเล็กทรอนิกส์ |
||
| ที่ตั้ง | 51/4 หมู่ 1 ตำบลวังตะเคียน อำเภอเมือง จังหวัดฉะเชิงเทรา 24000 |
|
| โทรศัพท์ | 0 3885 7100-9 | |
| โทรสาร | 0 3885 7175 | |
| อีเมล | info-tmec@nectec.or.th | |
| เว็บไซต์ | http://tmec.nectec.or.th | |
OUR RESEARCH
Oxygen Control on Nanocrystal-AlON Films by Reactive Gas-Timing Technique R.F. Magnetron Sputtering and Annealing Eff
Post on 2009-06-14
The AlON films grown on Si(100) substrates by using radio frequency (r.f.) magnetron sputtering from high purity aluminum (99.999% Al) target with a novel reactive gas-timing techn...
