Open House

 


 

แบบฟอร์มขอเยี่ยมชมโรงงาน


ชื่อสถาบัน  
คณะ  
วันที่เข้าเยี่ยมชม  
เหตุผลการขอเยี่ยมชม  
     
ข้อมูลการติดต่อ    
ชื่อ-นามสกุล  
ตำแหน่ง  
โทรศัพท์  
อีเมล  
   
รหัสป้องกัน  
ป้อนรหัสที่คุณเห็นในรูป โปรดพิมพ์ตัวอักษรเล็ก-ใหญ่ให้ถูกต้อง
    submit cancel

OUR RESEARCH

OUR RESEARCH

High-dielectric constant AlON prepared by RF gas-timing sputtering for high capacitance density

Post on 2009-06-14

 

 

This paper presents the method to prepare and characterize high-dielectric constant aluminum oxynitride (AlON) formed by RF gas-timing sputtering. AlON layers of 725nm have been pr...

Details

 

Products

 

Services

 

Knowledge Center

 

Request Form