
OUR RESEARCH

การพัฒนาอุตสาหกรรมไทย ทั้งด้านการผลิตและการพัฒนาผลิตภัณฑ์ต้นแบบ ด้านไมโครอิเล็กทรอนิกส์เพื่อนำไปประยุกต์ใช้จริงคือ หนึ่งในพันธกิจที่สำคัญของเรา เราจึงคำนึงถึงเสมอว่า การวิจัยและพัฒนาเป็นหน้าที่สำคัญยิ่ง ซึ่งเปรียบเสมือนพื้นฐานในการพัฒนาอุตสาหกรรมไทย เราจึงไม่เคยหยุดคิดและมุ่งมั่นวิจัยพัฒนาตลอดเวลา 13 ปีที่ผ่านมา
OUR RESEARCH

High-dielectric constant AlON prepared by RF gas-timing sputtering for high capacitance density
This paper presents the method to prepare and characterize high-dielectric constant aluminum oxynitride (AlON) formed by RF gas-timing sputtering. AlON layers of 725nm have been pr...



