HOME
LINKS
LINKS
LINKS
|
NECTEC National Electronics and Computer Technolgy Center ศูนย์เทคโนโลยีอิเล็กทรอนิกส์และคอมพิวเตอร์แห่งชาติ http://www.nectec.or.th |
 |
MTEC National Metal and Materials Technology Center ศูนย์เทคโนโลยีโลหะและวัสดุแห่งชาติ http://www.mtec.or.th |
|
BIOTEC National Center for Genetic Engineering and Biotechnology ศูนย์พันธุวิศวกรรมและเทคโนโลยีชีวภาพแห่งชาติ http://www.biotec.or.th |
 |
NANOTEC National Nanotechnology Center ศูนย์นาโนเทคโนโลยีแห่งชาติ http://www.nanotec.or.th |
|
TMC Technology Management Center ศูนย์บริหารจัดการเทคโนโลยี http://www.tmc.nstda.or.th |
|
Thai Microelectronics Encyclopedia โครงการจัดทำสารานุกรมไทยด้านไมโครอิเล็กทรอนิกส์ http://www.tmecpedia.com |
OUR RESEARCH
High-dielectric constant AlON prepared by RF gas-timing sputtering for high capacitance density
Post on 2009-06-14
This paper presents the method to prepare and characterize high-dielectric constant aluminum oxynitride (AlON) formed by RF gas-timing sputtering. AlON layers of 725nm have been pr...
