Karoon Saejok
Assistant Researcher
E-mail : karoon.saejok@nectec.or.th
Telephone : +66 38 857-100 ext. 138
Roles and Responsibilities
Responsibilities for Ion Implanter Model NH20SR and High Energy Ion Implanter Model G1520, Pressure sensor and Silicon Microphone project and researching on Industrial product
Research Interests
IC Fabrication such as CMOS, EEPROM; Sensor Fabrication such as pressure sensor, silicon microphone; Ion Implantation processing; The processing of Sputtering , PECVD (Plasma Enhance Vapor Deposition), and Thin film technology
Selected Publications
Karoon Saejok, Ekalak Chaowicharat, Montree Saenlamool, Kowit Sowsuwan, Charndet Hruanun, Surasak Niemcharoen and Amporn Poyai. “Study of Polycrystalline and Amorphous Silicon Film Resistance as Resistor in Piezoresistive Pressure Sensor.” ICAS2006, Vol. pp.590-598, November 2006
การุณ แซ่จอก, มนตรี แสนละมูล, ชาญเดช หรูอนันต์, เอกลักษณ์ เชาว์วิชารัตน์, สุรศักดิ์ เนียมเจริญและ อัมพร โพธิ์ใย. “การศึกษาความต้านทานของโพลีซิลิคอน และ อมอร์ฟัสซิลลิคอนหลังการยิงฝังประจุ สำหรับ เซนเซอร์วัดความดัน.” การประชุมวิชา การทางวิศวกรรมไฟฟ้า, ครั้งที่ 28, หน้า 117-1120, ปี 2548
การุณ แซ่จอก, มนตรี แสนลมูล, อนุชา เรืองพานิช, อกลักษณ์ เชาว์วิชารัตน์ , สุรศักดิ์ เนียมเจริญ และ อัมพร โพธิ์ใย, “การพัฒนาการสร้างบ่อชนิดเอ็นโดยปรับเพิ่มอุณหภูมิการแอนนีล สำหรับ วงจรรวม 0.8mm CMOS” การประชุมวิชาการทางวิศวกรรมไฟฟ้า, ครั้งที่ 29, หน้า 685-68,ปี 2549
การุณ แซ่จอก, มนตรี แสนลมูล, อนุชา เรืองพานิช, สุวัฒน์ โสภิตพันธ์, สุรศักดิ์ เนียมเจริญ และ อัมพร โพธิ์ใย, “การศึกษาการยิงฝังประจุในการสร้างบ่อชนิดเอ็น สำหรับวงจรรวม 0.8mm CMOS”, การประชุมวิชาการทางวิศวกรรมไฟฟ้า, ครั้งที่ 28,หน้า 1073-1076, ปี2548,
การุณ แซ่จอก, มนตรี แสนละมูล,สุวัฒน์ โสภิตพันธ์, ภาวัน สยามชัยและอิทธิ ฤทธาภรณ์ . “การศึกษาอุปกรณ์กำเนิดประจุชนิด เบอร์นาสในเครื่องยิงฝังประจุสำหรับกระบวนการผลิตวงจรรวม. ” การประชุมวิชาการทางวิศวกรรมไฟฟ้า, ครั้งที่ 27, หน้า 269-272, ปี 2547
การุณ แซ่จอก, กิตติ เสนาบูรณ์, สุวัฒน์ โสภิตพันธ์, ภาวัน สยามชัย และ อิทธิ ฤทธาภรณ์ “การพัฒนากระบวนการปลูกฟิล์มโลหะหลายชั้นด้วยเทคนิคสปัตเตอร์ริงสำหรับการสร้างวงจรรวม” ได้รับการตีพิมพ์ในการประชุมวิชาการทางวิศวกรรมไฟฟ้า ครั้งที่ 26, หน้า 1391-1395, ปี 2546
อัมพร โพธิ์ใย, อนุชา เรื่องพานิช, การุณ แซ่จอก, วิน บรรจงปรุ, มนตรี แสนละมูล, “The Effect of Fabrication Techniques to the Threshold Voltage of Submicron CMOS Technology” การประชุมวิชาการ Technology and Innovation for Sustainable Development Conference (TISD2006), ปี 2549
มนตรี แสนละมูล , การุณ แซ่จอก , อนุชา เรื่องพานิช,โอภาส ตรีทวีศักดิ์, อัมพร โพธิ์ใย และอิทธิ ฤทธาภรณ์, “การศึกษาคุณสมบัติในการยิงโบรอนฟลูออไรด์ในกระบวนการสร้างซอส เดรนสำหรับ 0.8mm CMOS” การประชุมวิชาการทางวิศวกรรมไฟฟ้า ครั้งที่ 28, ปี 2548
มนตรี แสนละมูล , การุณ แซ่จอก , นพพล พงษ์พันธ์จันทรา, กรรณนิกา อุประโคตร, โกวิท โซวสุวรรณ, เจริญมิตร วรเดช,อัมพร โพธิ์ใยและอิทธิ ฤทธาภรณ์ ,“การศึกษาการยิงฝังประจุโบรอนอะตอมมิกส์นัมเบอร์ต่างๆของพลาสมา BF3 ต่อค่าความต้านทานเชิงผิว” การประชุมวิชาการทางวิศวกรรมไฟฟ้า ครั้งที่ 28, ปี 2548
Post on 2009-06-11 | View 18750
OUR RESEARCH
An extreme change in structural and optical properties of indium oxynitride deposited by reactive gas-timing RF magnetro
The indium oxynitride (InON) films were achieved by reactive RF magnetron sputtering indium target which has the purity of 99.999% with a novel reactive gas-timing technique. The s...
