INFRASTRUCTURE
อาคารสถานที่และระบบสาธารณูปโภค
เครื่องมือ เทคโนโลยีและสาธารณูปโภคที่ครบครันและตรงตามมาตรฐานของ อุตสาหกรรมผลิตแผ่นวงจรรวมระดับสากล รวมถึงความเชี่ยวชาญของบุคลากรที่ได้รับการยอมรับ เป็นเสมือนพื้นฐานสำคัญในการพัฒนาและต่อยอดสู่บริการที่เป็นเลิศและผลิตภัณฑ์ประสิทธิภาพสูง เพื่อก้าวสำคัญของธุรกิจคุณ
ความพร้อมด้านสาธารณูปโภค ถือเป็นข้อได้เปรียบในการวิจัยและพัฒนาเพื่อบริการ และผลิตภัณฑ์ที่เหนือกว่าของเรา สาธารณูปโภคภายในศูนย์ฯ มีดังนี้
- ระบบห้องสะอาด (Clean Room)
- ระบบน้ำสะอาด (Soft and Ultra-Deionized Water Supply System)
- ระบบจ่ายก๊าซ (Gas Supply System)
- ระบบจ่ายอากาศสะอาดสำหรับเครื่องจักร (Compressed Dry Air System)
- ระบบจ่ายน้ำหล่อเย็นเครื่องจักร (Cooling Water System)
- ระบบบำบัดอากาศเสีย (Exhaust System)
- ระบบบำบัดน้ำเสีย (Wastewater Treatment System)
- ระบบไฟฟ้า (Electrical System)
- ระบบควบคุมอัตโนมัติและความปลอดภัย (Building Automation and Security (BAS) System)
OUR RESEARCH
Oxygen Control on Nanocrystal-AlON Films by Reactive Gas-Timing Technique R.F. Magnetron Sputtering and Annealing Eff
The AlON films grown on Si(100) substrates by using radio frequency (r.f.) magnetron sputtering from high purity aluminum (99.999% Al) target with a novel reactive gas-timing techn...