1. Cleanroom




Our rooms are specially designed to fit the production of integrated circuits. Our rooms are divided into two areas which are 100-cleanliness level area which is the process area, and 10,000-cleanliness level area which is the service area. Both structure of the areas and all the important instruments in the areas have been deliberately designed with the concerns for the efficiency of the production process. In addition, we also carefully inspected the construction of the rooms to comply with all the international standards for the integrated circuit manufacturing industry of many countries around the world. Therefore, our rooms are controllable in terms of validity of cleanliness, temperature, humidity, and other environs for the production of integrated circuits with high quality. The temperature is fixed at 22 Celsius degrees whilst the relative Humidity (rH) level is about 45 percent.

In addition, we also have the quality control of outside air that comes into the rooms with the Make up Air Unit (MAU) system which consists of three filters to prevent dust and other contaminating things from getting into the rooms. We also install the ULPA Filter which is capable of filtering 0.12 micron dust with the reliability level of 99.9999 percent. Thus, you can be absolutely confident of the efficiency of our integrated circuits.

2. Soft and Ultra-Deionized Water Supply System


Soft and Ultra-Deionized Water Supply System


The water that is used in the production process of integrated circuits must have a high level of purity and a low level of Ion in the mean time in order to prevent the occurrence of the short circuit of the track in an integrated circuit. Thus, we are very concerned about the water supply system. In the center, there are two water supply systems, which are:

  1. Pre-Treatment which is the primary system to clean the water by turning normal water into soft water by eliminating all suspended solids (SS), turbidity, dreg, dissolved organic carbon (DOC) and Chlorine, as well as all kinds of Ions; and
  2. Ultra Deionized (UDI) Water which is the system that purifies the soft water from the former process by eliminating all Ions which are the leftover from the former process and killing all micro-organisms that come with the water in order to get the water with a high level of purity that complies with the standards for integrated circuit manufacture. Normally, our center can generate pure water or the Ultra Deionized (UDI) Water in the amount of 3.5 cubic meters per day with the resistance level that is not lower than 18 mega Ohm centimeters.

3. Gas Supply System


Gas Supply System


The production process of integrated circuits need two kinds of gases which are process gases, i.e., SiH4, NH3, PH3, SiH2CI2, CI2, BCI3, HBr, BF3, AsH3, He, Ar, CF4, CHF3 and SF6 and non-process ones which are used for operating machines or supportive systems, i.e., O2, N2, H2 and LPG

Our gas supply system has been designed to completely comply with the standards for installment and safety such as the design for gas containing room, detective and alarming to operators, safety valve system that will stop supplying gas directly the leak of the gas is detected, fire distinguishing with CO2, Exhaust system, etc…

4. Compressed Dry Air System


Compressed Dry Air System


Compressed Dry Air is another factor important to the production process of integrated circuits by dint of many reasons such as for controlling the function of machines (such as those in pneumatics system) or for controlling the open and close of valves. Compressed Dry Air must contain no dust, contamination, humidity, and oil vapour. The temperature must also be kept appropriate to each kind of use.

5. Cooling Water System


Cooling Water System


Cooling water System generates cool water by using the principle of heat ventilation with air. Cool water will be divided into two batches. The first batch of water will be transferred to the machines that work in production process in the clean rooms. The other batch of water will be used with the tools and instruments of the Process Vacuum and the Compressed Dry Air systems for cooling the systems during their operations. This batch of water will also be supplied to the tools and instruments of the DI Water system.

6. Exhaust System


Exhaust System


Apart from the efficiency of our products that we have always especially been concerned about, environment is another aspect that we haves always been concerned about. Therefore, we concentrate on all steps of the exhaust system. As for the exhaustion from all machines in the clean rooms, we divide our treatments into four categories by the types of the exhaustions:

  1. Acid Exhaust System is the system that treats and eliminates the vapour of corrosive substances such as the vapours of acid or base from the production process of integrated circuits.
  2. Organic Exhaust System is the system that treats and eliminates the vapour of solvents such as Isopropyl Alcohol (IPA)
  3. General Exhaust System includes the exhaust systems for premises or industrial plants which facilitate the flow and ventilation of the air in the areas, and gets rid of exhaustion. This system is important for any room that retains smell, smoke, or poisonous vapours which can be very harmful when being accumulated in the operators’ bodies.
  4. Stripping Unit System is the system that treats the gas that is caused from the production process by limiting the gas to have compositions that do not exceed that value that is set by the environmental standards before releasing the gas into the atmosphere. This is the second treatment after the Point of Use Scrubber which is the first step of the treatment for exhaustion emitted from engines and machines.

7. Wastewater Treatment System


Wastewater Treatment System


Apart from the exhaust system, we also have wastewater treatment system. The wastewater that comes out from the production process will be kept in containers before being treated with a treatment appropriate to the kind of wastewater. The dreg which is the residue of the treatment will be filtered by the Pressed Filter which turns it into non-toxic solid. Wastewater from the production process can be divided into four types:

  1. HF Wastewater is the wastewater that consists of Hydrofluoric acid in the amount prescribed by the standard.
  2. Acid – Alkaline Wastewater is the wastewater that consists of acid or base substances in the amount prescribed by the standard.
  3. Organic Wastewater is the wastewater that consists of organic substances in the amount prescribed by the standard.
  4. UDI Wastewater is the cleanest wastewater of the four types that consists of contamination in the amount prescribed by the standard.

8. Electrical System


Electrical System


You can be confident of the productivity and the efficiency of our operations that go smoothly on the set schedules because we are always be well prepared with substitute electrical system in case of a black out. Our electrical system consists of a 135 kVA generator which generates alternating current to be supplied to the emergent lights and the air ventilation systems. This system also works for certain sections of the clean rooms in the case where the electrical system in the rooms is temporarily out of order. Un-interrupting Power Supply (UPS) will supply load in order to stabilize the voltage in normal circumstances and to prevent the stoppage of the operations of electric appliances when the electrical system becomes out of order.

9. Building Automation and Security System


Building Automation and Security System


This system controls and inspects the operations of other systems which work continuously, including the security systems in the building such as Gas Detector. In addition, we also installed the tools that control and inspect all the systems in more than 1,300 positions for controlling the operations of all systems and recording all important data for the sakes of security and safety in the highest level.

1. ระบบห้องสะอาด (Cleanroom)




คือ ห้องที่ถูกออกแบบเป็นพิเศษเพื่อใช้ผลิตแผ่นวงจรรวม ซึ่งสามารถแบ่งพื้นที่ออกเป็น 2 ส่วนคือ ระดับความสะอาดคลาส 100 เพื่อเป็นพื้นที่การผลิต (Process Area) และระดับความสะอาดคลาส 10,000 เพื่อเป็นพื้นที่บริการ (Service Area) โดย ทั้งโครงสร้างและอุปกรณ์ที่สำคัญล้วนได้รับการออกแบบที่คำนึงถึงประสิทธิภาพในการผลิตเป็นหลัก อีกทั้งยังมีการตรวจสอบการก่อสร้างตามมาตรฐานของอุตสาหกรรมผลิตแผ่นวงจรรวมทั่วโลก เพื่อให้ได้ห้องสะอาดที่สามารถควบคุมความสะอาด, อุณหภูมิ, ความชื้น และสภาพแวดล้อมต่างๆ ที่คงที่และเหมาะสมในการผลิตแผ่นวงจรรวมประสิทธิภาพสูง โดยอุณหภูมิอยู่ที่ 22 องศาเซลเซียส และค่าความชื้นสัมพัทธ์ประมาณ 45%

นอกจากนี้ ยังมีการควบคุมคุณภาพของอากาศจากภายนอกที่จะเข้ามายังห้องสะอาด ด้วยระบบ Make up Air Unit (MAU) ด้วยฟิลเตอร์ถึง 3 ชุดเพื่อกรองฝุ่นหรือสิ่งที่ปะปนเข้ามากับอากาศภายนอก ยิ่งกว่านั้นภายในห้องสะอาดยังติดตั้ง ULPA Filter ที่สามารถกรองฝุ่นละเอียดที่มีขนาด 0.12 ไมครอน ได้ถึง 99.9999% คุณจึงสามารถมั่นใจเต็มร้อยถึงประสิทธิภาพของแผ่นวงจรรวมของเรา

2. ระบบน้ำสะอาด (Soft and Ultra-Deionized Water Supply System)


Soft and Ultra-Deionized Water Supply System


เนื่องจากน้ำที่ใช้ในการผลิตวงจรรวมนั้น จำเป็นต้องมีความบริสุทธิ์สูงและมีปริมาณอิออนต่ำ เพื่อป้องกันการลัดวงจรของเส้นลายวงจรรวม เราจึงให้ความสำคัญกับระบบการผลิตน้ำเป็นพิเศษ ภายในศูนย์ฯ แบ่งระบบการผลิตน้ำสะอาดออกเป็น 2 ระบบ คือ

  1. ระบบ Pre-Treatment เป็นระบบการทำความสะอาดน้ำเบื้องต้น เพื่อปรับน้ำดิบที่มีความกระด้างปะปนอยู่ให้เป็นน้ำอ่อน (Soft Water) โดยการกำจัดพวกของแข็งแขวนลอย ความขุ่น ตะกอน สารอินทรีย์ละลายและคลอรีน รวมทั้งอิออนต่างๆ
  2. ระบบ Ultra Deionized (UDI) Water เป็นระบบการทำความสะอาดน้ำอ่อน (Soft Water) ให้เป็นน้ำที่มีความบริสุทธิ์สูง โดยทำการกำจัดอิออนต่างๆ ที่เหลือจากการทำความสะอาดน้ำเบื้องต้น อีกทั้งยังฆ่าจุลินทรีย์ที่ปะปนมากับน้ำ เพื่อให้ได้น้ำความบริสุทธิ์สูงตรงตามมาตรฐานในการผลิตวงจรรวม ซึ่งโดยปกติ ศูนย์ฯ สามารถผลิตน้ำสะอาดหรือ Ultra Deionized (UDI) Water ได้ถึง 3.5 ลูกบาศก์เมตรต่อชั่วโมง และมีค่าความต้านทานไม่ต่ำกว่า 18 เมกะโอห์ม-เซนติเมตร

3. ระบบจ่ายก๊าซ (Gas Supply System)


Gas Supply System


ในกระบวนการผลิตวงจรรวมจำเป็นต้องใช้ก๊าซ 2 ประเภท คือ ก๊าซที่ใช้ในกระบวนการผลิต (Process Gas) เช่น SiH4, NH3, PH3, SiH2CI2, CI2, BCI3, HBr, BF3, AsH3, He, Ar, CF4, CHF3 และ SF6 และก๊าซที่ใช้สำหรับบริการเครื่องจักรหรือใช้กับระบบสนับสนุน (Non-Process Gas) เช่น O2, N2, H2 และ LPG

ระบบการจ่ายก๊าซต่างๆ ได้รับการออกแบบตามมาตรฐานการติดตั้งใช้งาน และมาตรฐานความปลดภัยอย่างครบถ้วน เช่น การออกแบบห้องเก็บก๊าซ ระบบตรวจจับและเตือนภัยเพื่อแจ้งให้แก่ผู้ปฏิบัติงาน ระบบวาล์วนิรภัยที่จะทำการปิดการจ่ายก๊าซทันทีที่ระบบตรวจพบการรั่ว ระบบดับเพลิงด้วยคาร์บอนไดออกไซด์ และระบบ Exhaust เป็นต้น

4. ระบบจ่ายอากาศสะอาดสำหรับเครื่องจักร (Compressed Dry Air System)


Compressed Dry Air System


อากาศสะอาด (Compressed Dry Air) เป็นอีกหนึ่งปัจจัยที่จำเป็นต้องใช้ในกระบวนการผลิตวงจรรวม เช่น การควบคุมการทำงานของเครื่องจักร อย่างระบบนิวแมติกส์หรือการควบคุมการเปิด-ปิดวาล์ว เป็นต้น ซึ่งคุณสมบัติของอากาศสะอาดนี้ต้องปราศจากฝุ่นละออง, สิ่งปนเปื้อน, ความชื้น และไอน้ำมัน อีกทั้งยังต้องควบคุมอุณหภูมิให้เหมาะสมกับการใช้งานอีกด้วย

5. ระบบจ่ายน้ำหล่อเย็นเครื่องจักร (Cooling Water System)


Cooling Water System


ระบบการทำน้ำเย็นสำหรับกระบวนการผลิต จะทำการผลิตน้ำเย็นโดยใช้หลักการระบายความร้อน ด้วยอากาศ โดยน้ำเย็นจะถูกแบบนำไปใช้ 2 ส่วน ดังนี้ ส่วนแรกจะถูกส่งไปยังเครื่องจักรที่ใช้ในการกระบวนการผลิตภายในห้องสะอาด ในขณะที่อีกส่วนจะถูกนำไปใช้กับอุปกรณ์ของระบบ Process Vacuum และ Compressed Dry Air เพื่อใช้ในการหล่อเย็นขณะทำงาน รวมทั้งจ่ายให้กับอุปกรณ์ของระบบ DI Water

6. ระบบบำบัดอากาศเสีย (Exhaust System)


Exhaust System


นอกจากประสิทธิภาพของผลิตภัณฑ์ที่เราคำนึงถึงเป็นพิเศษแล้ว สิ่งแวดล้อมก็เป็นอีกหนึ่งสิ่งที่เราคำนึงถึงเสมอมา เราจึงเอาใจใส่ในทุกขั้นตอนของระบบการบำบัดของเสีย สำหรับอากาศเสียที่มาจากเครื่องจักรต่างๆ ในห้องสะอาด ทางศูนย์ฯ เลือกใช้ระบบการบำบัดอากาศเสีย โดยแยกตามชนิดของก๊าซที่ต้องการบำบัดออกเป็น 4 ประเภท ดังนี้

  1. Acid Exhaust System คือ ระบบบำบัดและกำจัดไอระเหยของสารจำพวกกัดกร่อน เช่น ไอของกรด-ด่าง ที่เกิดจากกระบวนการผลิตวงจรรวม
  2. Organic Exhaust System คือ ระบบบำบัดและกำจัดไอของสารระเหยจำพวกตัวทำละลาย เช่น Isopropyl Alcohol (IPA)
  3. General Exhaust System คือ ระบบระบายอากาศทั่วไป ทั้งงานระบายอากาศตามอาคารหรือ โรงงานอุตสาหกรรม ซึ่งจะช่วยในการหมุนเวียนถ่ายเทอากาศในบริเวณนั้นๆ นอกจากนั้นยังเป็นการนำอากาศเสียไปทิ้งอีกด้วย ซึ่งจำเป็นสำหรับห้องที่มีกลิ่น ควัน ไอเสียต่างๆ ซึ่งหากมีการสะสมจะส่งผลเสียต่อผู้ปฏิบัติงาน
  4. Stripping Unit System คือ ระบบบำบัดก๊าซที่เกิดจากกระบวนการผลิตให้มีองค์ประกอบไม่เกินค่ามาตรฐานสิ่งแวดล้อมก่อนปล่อยสู่บรรยากาศ ซึ่งเป็นระบบการบำบัดขั้นที่ 2 ต่อจากอุปกรณ์บำบัดเฉพาะส่วน (Point of Use Scrubber) ซึ่งเป็นขั้นตอนแรกในการบำบัดก๊าซเสียซึ่งถูกส่งออกมาจากเครื่องจักรต่างๆ

7. ระบบบำบัดน้ำเสีย (Wastewater Treatment System)


Wastewater Treatment System


นอกจากระบบบำบัดอากาศเสียแล้ว เรายังทำการบำบัดน้ำเสียก่อนออกจากศูนย์อีกด้วย โดยน้ำเสียที่ออกมาจากระบบการผลิตจะถูกแยกเข้าสู่ถังเก็บ เพื่อดำเนินการบำบัดเฉพาะในแต่ละชนิด ซึ่งตะกอนที่เหลือจากการบำบัด จะถูกแยกออกด้วย Pressed Filter เพื่อแปรสภาพเป็นของแข็งที่ไม่มีพิษต่อไป น้ำเสียที่เกิดจากขบวนการผลิตภายในศูนย์นั้น แบ่งออกเป็น 4 ประเภท ดังนี้

  1. HF Wastewater คือ น้ำเสียที่มีส่วนผสมของกรดไฮโดรฟลูออริก (Hydrofluoric) ถึงปริมาณที่กำหนด
  2. Acid – Alkaline Wastewater คือ น้ำเสียที่มีส่วนผสมของสารเคมีจำพวกกรด-ด่างถึงปริมาณที่กำหนด
  3. Organic Wastewater คือ น้ำเสียที่มีส่วนผสมของสารประกอบประเภทอินทรีย์ต่างๆ ถึงปริมาณที่กำหนด
  4. UDI Wastewater คือ น้ำเสียที่มีความสกปรกน้อยที่สุด โดยมีปริมาณการปนเปื้อนถึงปริมาณที่กำหนด

8. ระบบไฟฟ้า (Electrical System)


Electrical System


มั่นใจได้ถึงกำลังการผลิตและประสิทธิภาพในการทำงานที่ไม่มีสะดุดและตรงตามแผนที่ได้วางไว้ เพราะเราเตรียมพร้อมอยู่เสมอด้วยระบบไฟฟ้าสำรองกรณีไฟดับ ซึ่งประกอบด้วย Generator ขนาด 135 kVA เป็นการสร้างไฟฟ้ากระแสสลับเพื่อจ่ายให้แก่โหลดแสงสว่างฉุกเฉินและระบบระบายอากาศ บางส่วนภายในห้องสะอาดในกรณีไฟฟ้าขัดข้องชั่วคราว และ Uninterrupting Power Supply (UPS) ทำหน้าที่ในการจ่ายโหลดเพื่อความสม่ำเสมอของแรงดันไฟฟ้าในสภาวะปกติ และป้องกันการหยุดชะงักของการทำงานของอุปกรณ์ไฟฟ้าในกรณีที่สภาวะไฟฟ้าขัดข้อง

9. ระบบควบคุมอัตโนมัติและความปลอดภัย (Building Automation and Security System)


Building Automation and Security System


เป็นระบบสำหรับควบคุมดูแลและตรวจสอบการทำงานของระบบอื่นๆ ที่ทำงานอย่างต่อเนื่องตลอดเวลา รวมถึงระบบรักษาความปลอดภัยในอาคาร เช่น ระบบป้องกันเพลิงไหม้ (Fire Alarm System) ระบบ Access Control และระบบตรวจสอบก๊าซรั่ว (Gas Detector) นอกจากนั้น เรายังติดตั้งอุปกรณ์สำหรับการควบคุมและตรวจสอบทุกระบบรวมมากกว่า 1,300 จุด สำหรับควบคุมการทำงานและเก็บข้อมูลต่างๆ เพื่อประสิทธิภาพในการดูแลความปลอดภัยสูงสุด



High-dielectric constant AlON prepared by RF gas-timing sputtering for high capacitance density

Post on 2009-06-14



This paper presents the method to prepare and characterize high-dielectric constant aluminum oxynitride (AlON) formed by RF gas-timing sputtering. AlON layers of 725nm have been pr...







Knowledge Center


Request Form