LINKS

NECTEC


National Electronics and Computer Technolgy Center
ศูนย์เทคโนโลยีอิเล็กทรอนิกส์และคอมพิวเตอร์แห่งชาติ

http://www.nectec.or.th

MTEC


National Metal and Materials Technology Center
ศูนย์เทคโนโลยีโลหะและวัสดุแห่งชาติ

http://www.mtec.or.th

BIOTEC


National Center for Genetic Engineering and Biotechnology
ศูนย์พันธุวิศวกรรมและเทคโนโลยีชีวภาพแห่งชาติ

http://www.biotec.or.th

NANOTEC


National Nanotechnology Center
ศูนย์นาโนเทคโนโลยีแห่งชาติ

http://www.nanotec.or.th

TMC


Technology Management Center
ศูนย์บริหารจัดการเทคโนโลยี

http://www.tmc.nstda.or.th

Thai Microelectronics Encyclopedia


โครงการจัดทำสารานุกรมไทยด้านไมโครอิเล็กทรอนิกส์

http://www.tmecpedia.com

NECTEC


National Electronics and Computer Technolgy Center

http://www.nectec.or.th

MTEC


National Metal and Materials Technology Center


http://www.mtec.or.th

BIOTEC


National Center for Genetic Engineering and Biotechnology


http://www.biotec.or.th

NANOTEC


National Nanotechnology Center


http://www.nanotec.or.th

TMC


Technology Management Center


http://www.tmc.nstda.or.th

Thai Microelectronics Encyclopedia


http://www.tmecpedia.com

OUR RESEARCH

OUR RESEARCH

High-dielectric constant AlON prepared by RF gas-timing sputtering for high capacitance density

Post on 2009-06-14

 

 

This paper presents the method to prepare and characterize high-dielectric constant aluminum oxynitride (AlON) formed by RF gas-timing sputtering. AlON layers of 725nm have been pr...

Details

 

Products

 

Services

 

Knowledge Center

 

Request Form