E-mail : karoon.saejok@nectec.or.th

Telephone : +66 38 857-100 ext. 138

Roles and Responsibilities

รับผิดชอบเป็นหัวหน้าดูแลเครื่องจักร Ion Implanter รุ่น NH20SR และHigh Energy Ion Implanter รุ่น G1520, รับผิดชอบดูแลเซ็นเซอร์ ที่อยู่ในโครงการ Pressure sensor และ Silicon Microphone, นอกจากนี้ยังทำหน้าที่รับจ้างวิจัย เช่นทำการวิจัยศึกษาความเป็นไปได้ในการนำ Pressure sensor ไปประยุกต์ใช้งานในอุตสาหกรรม

Research Interests

กระบวนการสร้าง IC fabrication; กระบวนการสร้างเซ็นเซอร์ประเภท pressure sensor ,Silicon Microphone; กระบวนการสร้างด้วยเทคนิค Ion Implantation; กระบวนการสร้างด้วยเทคนิค Sputering, PECVD and thin film technology

Selected Publications

Karoon Saejok, Ekalak Chaowicharat, Montree Saenlamool, Kowit Sowsuwan, Charndet Hruanun, Surasak Niemcharoen and Amporn Poyai. “Study of Polycrystalline and Amorphous Silicon Film Resistance as Resistor in Piezoresistive Pressure Sensor.” ICAS2006, Vol. pp.590-598, November 2006

การุณ แซ่จอก, มนตรี แสนละมูล, ชาญเดช หรูอนันต์, เอกลักษณ์ เชาว์วิชารัตน์, สุรศักดิ์ เนียมเจริญและ อัมพร โพธิ์ใย. “การศึกษาความต้านทานของโพลีซิลิคอน และ อมอร์ฟัสซิลลิคอนหลังการยิงฝังประจุ สำหรับ เซนเซอร์วัดความดัน.” การประชุมวิชา การทางวิศวกรรมไฟฟ้า, ครั้งที่ 28, หน้า 117-1120, ปี 2548

การุณ แซ่จอก, มนตรี แสนลมูล, อนุชา เรืองพานิช, อกลักษณ์ เชาว์วิชารัตน์ , สุรศักดิ์ เนียมเจริญ และ อัมพร โพธิ์ใย, “การพัฒนาการสร้างบ่อชนิดเอ็นโดยปรับเพิ่มอุณหภูมิการแอนนีล สำหรับ วงจรรวม 0.8mm CMOS” การประชุมวิชาการทางวิศวกรรมไฟฟ้า, ครั้งที่ 29, หน้า 685-68,ปี 2549

การุณ แซ่จอก, มนตรี แสนลมูล, อนุชา เรืองพานิช, สุวัฒน์ โสภิตพันธ์, สุรศักดิ์ เนียมเจริญ และ อัมพร โพธิ์ใย, “การศึกษาการยิงฝังประจุในการสร้างบ่อชนิดเอ็น สำหรับวงจรรวม 0.8mm CMOS”, การประชุมวิชาการทางวิศวกรรมไฟฟ้า, ครั้งที่ 28,หน้า 1073-1076, ปี2548,

การุณ แซ่จอก, มนตรี แสนละมูล,สุวัฒน์ โสภิตพันธ์, ภาวัน สยามชัยและอิทธิ ฤทธาภรณ์ . “การศึกษาอุปกรณ์กำเนิดประจุชนิด เบอร์นาสในเครื่องยิงฝังประจุสำหรับกระบวนการผลิตวงจรรวม. ” การประชุมวิชาการทางวิศวกรรมไฟฟ้า, ครั้งที่ 27, หน้า 269-272, ปี 2547

การุณ แซ่จอก, กิตติ เสนาบูรณ์, สุวัฒน์ โสภิตพันธ์, ภาวัน สยามชัย และ อิทธิ ฤทธาภรณ์ “การพัฒนากระบวนการปลูกฟิล์มโลหะหลายชั้นด้วยเทคนิคสปัตเตอร์ริงสำหรับการสร้างวงจรรวม” ได้รับการตีพิมพ์ในการประชุมวิชาการทางวิศวกรรมไฟฟ้า ครั้งที่ 26, หน้า 1391-1395, ปี 2546

อัมพร โพธิ์ใย, อนุชา เรื่องพานิช, การุณ แซ่จอก, วิน บรรจงปรุ, มนตรี แสนละมูล, “The Effect of Fabrication Techniques to the Threshold Voltage of Submicron CMOS Technology” การประชุมวิชาการ Technology and Innovation for Sustainable Development Conference (TISD2006), ปี 2549

มนตรี แสนละมูล , การุณ แซ่จอก , อนุชา เรื่องพานิช,โอภาส ตรีทวีศักดิ์, อัมพร โพธิ์ใย และอิทธิ ฤทธาภรณ์, “การศึกษาคุณสมบัติในการยิงโบรอนฟลูออไรด์ในกระบวนการสร้างซอส เดรนสำหรับ 0.8mm CMOS” การประชุมวิชาการทางวิศวกรรมไฟฟ้า ครั้งที่ 28, ปี 2548

มนตรี แสนละมูล , การุณ แซ่จอก , นพพล พงษ์พันธ์จันทรา, กรรณนิกา อุประโคตร, โกวิท โซวสุวรรณ, เจริญมิตร วรเดช,อัมพร โพธิ์ใยและอิทธิ ฤทธาภรณ์ ,“การศึกษาการยิงฝังประจุโบรอนอะตอมมิกส์นัมเบอร์ต่างๆของพลาสมา BF3 ต่อค่าความต้านทานเชิงผิว” การประชุมวิชาการทางวิศวกรรมไฟฟ้า ครั้งที่ 28, ปี 2548

Post on 2009-06-11 | View 18760